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化学品供应系统概述

       随着半导体,平板显示,发光二极管,光伏,光纤等各高科技行业的快速发展,超高纯化学品供应系统的需求量与日俱增,超高纯化学品系统在半导体中的作用有:清洗芯片上的杂质,微粒子;刻蚀芯片图案;显影芯片图案,化学气相沉积前置反应物;研磨芯片;清洗制程设备零配件等。

       我们为客户提供安全可靠的化学品输送系统,自动化程度高。当工艺设备需要供液时给出Demand信号,自动供液系统接收到需液信号控制程序自动打开泵电磁阀、气动阀电磁阀,化学品通过泵输送出去,经过过滤装置,将化学品供应到VMB分支阀箱,再到工艺设备。当工艺设备达到FULL状态需液信息关闭,供液系统停止供应。系统可以自动检测和收集动力系统、输送流量和压力、泄漏检测等数据和信息。当系统检测到泄漏可以自行切断供应并发出警报,以保证人身安全。
 

       我们拥有将先进制造业工艺制程中需求的各种介质,从源头安全稳定的满足工艺要求的供应至工艺制程仍保持质量合格的关键技术,对高纯工艺介质不产生二次污染